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题名/责任者:

MEMS多晶圆旋转机械:涡轮机, 发电机和发动机/(美) Jeffrey H. Lang著 刘欢 ... [等] 译

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2016

ISBN及定价:

978-7-118-10543-8/CNY120.00

载体形态项:

361页:图;24cm

并列正题名:

Multi-wafer rotating MEMS machines : turbines、generator and engines

其它题名:

涡轮机, 发电机和发动机

个人责任者:

朗 (Lang, Jeffrey H.) 著

个人次要责任者:

刘欢 译

学科主题:

微电机

中图法分类号:

TM38

一般附注:

西安工业大学专著出版基金资助 装备科技译著出版基金

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书第1章和第2章是介绍多晶圆旋转机器的基础。第3章讨论了材料、结构、和封装。第4章主要讲述与硅相关的制造。第5章侧重于电镀磁性元件，如线圈和磁芯，形成一个硅的上层构造。第6章介绍了超高速空气轴承的研究进展。第7章介绍了热流体和涡轮机的研究工作。

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