MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：45
- 题名/责任者:
- 衬底基片超精密加工技术/周海编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2014
- ISBN及定价:
- 978-7-03-039281-7/CNY58.00
- 载体形态项:
- 175页:图;24cm
- 个人责任者:
- 周海 编著
- 学科主题:
- 发光二极管-生产工艺
- 中图法分类号:
- TN383.05
- 一般附注:
- 江苏省自然科学基金项目资助 江苏省“六大人才高峰”项目资助 盐城工学院学术专著出版基金资助
- 书目附注:
- 有书目 (第167-175页)
- 提要文摘附注:
- 本书详细介绍了蓝宝石衬底基片从晶体生长到可用于外延生长的衬底基片的工艺全过程。本书不仅阐述了蓝宝石衬底基片的超精密加工基本原理，而且结合具体加工设备，分析了蓝宝石衬底基片超精密加工工艺参数，同时介绍了国内外最新的发展和成就。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TN383.05/2 | CN1486725 | - |  内阅图书
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| TN383.05/2 | CN1486726 | - | 未央馆
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| TN383.05/2 | CN1486727 | - | 未央馆
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