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题名/责任者:

扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术/工业和信息化部电子第五研究所组编 施明哲编著

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2015

ISBN及定价:

978-7-121-27245-5/CNY88.00

载体形态项:

xv, 400页:图;24cm

个人责任者:

施明哲 编著

团体次要责任者:

工业和信息化部电子第五研究所 组编

学科主题:

扫描电子显微镜

学科主题:

能谱仪

中图法分类号:

TH742.9

中图法分类号:

TH842

书目附注:

有书目。

提要文摘附注:

本书是介绍扫描电镜和X射线能谱仪的原理和应用的专业书籍，全书共有两篇。第一篇主要介绍了扫描电镜的基本原理，包括扫描电镜的国内外发展历程、电镜的基本原理和结构、实际应用中常见的一些成像技术和具体应用、样品的处理、电镜日常的维护及保养，还介绍了电镜安装场地和环境的基本要求及相关参数。第二篇主要介绍能谱仪的基本原理、结构和实际的应用技术，包括Si（Li）与SDD两种不同的检测器。最后还简单地介绍了传统的罗兰圆和新型的平行光波谱仪的工作原理及其各自的特点。

使用对象附注:

本书可供从事电镜显微分析方面的操作、应用、安装和维修等有关工程技术人员阅读参考，也可作为理工科院校的微电子、半导体物理、电子物理、电子材料、金属材料、非金属材料、分析化学和生物专业的本科生和研究生的参考书。

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