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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:59

题名/责任者:
碳化硅光学反射镜超精密加工的基础理论与方法/李圣怡等著
出版发行项:
北京:科学出版社,2014
ISBN及定价:
978-7-03-039110-0 精装/CNY75.00
载体形态项:
186页:图;24cm
丛编项:
微纳制造的基础研究学术著作丛书
个人责任者:
李圣怡
学科主题:
碳化硅-光学材料-反射镜-超精加工
中图法分类号:
TH744
提要文摘附注:
本书重点介绍了我们承担的国家重大基础研究项目(973)的研究成果的一部分。是一部专门针对新一代空间光学碳化硅光学材料加工的专著。内容包括:五种典型碳化硅光学材料如碳/碳化硅(C/SiC)、硅/碳化硅(Si/SiC)两相涂层、化学气相沉积碳化硅(CVDSiC)、反应烧结碳化硅(RBSiC)以及烧结碳化硅(SSiC)的显微结构与力学行为;碳化硅反射镜磨削、研磨、传统抛光与可控柔体加工的材料去除机理与相关工艺;适用于碳化硅反射镜的高效、高精度、超光滑加工工艺路线以及具有代表性的碳化硅光学元件加工实例等。
使用对象附注:
工程领域研究的科技人员、高校师生
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