MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：41
- 题名/责任者:
- 纳米尺度几何量和机械量测量技术/赵学增，王伟杰著
- 出版发行项:
- 哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2013
- ISBN及定价:
- 978-7-5603-3864-4/CNY68.00
- 载体形态项:
- 284页:图;26cm
- 丛编项:
- 先进制造理论研究与工程技术系列
- 个人责任者:
- 赵学增 著
- 个人责任者:
- 王伟杰 著
- 学科主题:
- 几何量-测量
- 中图法分类号:
- TB9
- 一般附注:
- 国家出版基金资助项目·“十二五”国家重点图书
- 提要文摘附注:
- 本书共分4章。包括纳米尺度线宽(CD)测量，纳米尺度边缘粗糙度(LER)测量，纳米尺度线高测量，纳米尺度节距、一维栅和二维栅测量，纳米尺度微力、杨氏模量和刚度测量，微纳尺度固液界面边界条件测量，结论。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TB9/59 | CN1396977 | - |  内阅图书
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| TB9/59 | CN1396978 | - | 未央馆
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