MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：29
- 题名/责任者:
- 薄膜材料制备原理、技术及应用/唐伟忠著
- 版本说明:
- 2版
- 出版发行项:
- 北京:冶金工业出版社,2003
- ISBN及定价:
- 7-5024-3097-0/CNY28.00
- 载体形态项:
- 10,323页:图;20cm
- 个人责任者:
- 唐伟忠 (薄膜材料) 著
- 学科主题:
- 薄膜制品-制备
- 学科主题:
- 薄膜制品
- 中图法分类号:
- TQ320.72
- 提要文摘附注:
- 本书以薄膜材料为中心，介绍了薄膜技术中常用的真空技术基础知识，各种物理和化学气相沉积技术和方法，薄膜材料的形核及生长理论，等。
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