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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:31

题名/责任者:
压电薄膜材料与器件制备技术/张涛著
出版发行项:
西安:西北工业大学出版社,2012
ISBN及定价:
978-7-5612-3480-8/CNY28.00
载体形态项:
191页:图;23cm
个人责任者:
张涛, 1976- 著
学科主题:
压电薄膜-压电器件-制备
中图法分类号:
TM22
一般附注:
国防特色学术专著 学术专著·材料科学与工程
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书主要分为压电薄膜制备技术和薄膜压电器件制备技术两部分, 讲述了压电薄膜与压电微型器件制备技术, 内容包括: 压电薄膜基础理论, 压电薄膜制备技术与进展等。
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