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题名/责任者:

动态微机电系统:理论与应用/何广平[等]编著

出版发行项:

北京:科学出版社,2012

ISBN及定价:

978-7-03-034316-1/CNY80.00

载体形态项:

384页:图及表;24cm

个人责任者:

何广平 编著

学科主题:

微电子技术

中图法分类号:

TM38

中图法分类号:

TN4

题名责任附注:

编著还有：赵明、赵全亮、刘峰斌

提要文摘附注:

本书以动态微机电系统（MEMS）为主要对象，介绍其相关的功能材料、设计方法、制造工艺以及控制方法。全书共6章，主要内容包括：动态MEMS主要技术领域的简况；动态MEMS中常用的功能材料及其制备方法；动态MEMS器件的主要设计方法及其发展现状；动态MEMS的制造工艺、常见失效模式及其克服方法；动态MEMS的控制理论基础、控制技术及其发展现状、控制实验方法等方面的论述；典型动态MEMS系统剖析。

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