MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：35
- 题名/责任者:
- ZAO陶瓷靶材及薄膜的制备工艺与性能研究/韩美康著 杨觉明，李建平指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2013
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 62页;29cm
- 个人责任者:
- 韩美康 著
- 个人次要责任者:
- 杨觉明 指导
- 个人次要责任者:
- 李建平 指导
- 非控制主题词:
- 陶瓷靶材；ZAO薄膜；射频磁控溅射；退火热处理；电阻率；透光率
- 中图法分类号:
- TB43
- 学位论文附注:
- 硕士论文——西安工业大学材化学院，2013
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