MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：35
- 题名/责任者:
- 低能离子束刻蚀中自组织纳米结构形成研究/李瑞著 陈智利指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2012
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 53页;29cm
- 个人责任者:
- 李瑞 著
- 个人次要责任者:
- 陈智利 指导
- 非控制主题词:
- 低能离子束刻蚀；自组织纳米结构；粗糙度；透射
- 中图法分类号:
- TN305.2
- 学位论文附注:
- 硕士论文——西安工业大学光电工程学院，2012
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