MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：32
- 题名/责任者:
- 声表面波MEMS器件研究/鲍帅著 高爱华指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2012
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 67页;29cm
- 个人责任者:
- 鲍帅 著
- 个人次要责任者:
- 高爱华 指导
- 非控制主题词:
- 声表面波器件；制作工艺；声表面波MEMS陀螺；类金刚石薄膜
- 中图法分类号:
- TN305
- 学位论文附注:
- 硕士论文——西安工业大学光电工程学院，2012
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