MARC状态:已编 文献类型:西文图书 浏览次数:30
- 题名/责任者:
- Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition, and etching of insulators / Ian W. Boyd.
- 出版发行项:
- Berlin : Springer-Verlag, c1987.
- ISBN:
- 0387179518 (U.S.)
- 载体形态项:
- viii, 320 p. : 77 ill. ; 24 cm.
- 个人责任者:
- Boyd, Ian W., 1958-
- 中图法分类号:
- TB43
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