MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：22
- 题名/责任者:
- 磁约束磁控溅射源的关键技术研究/袁渊明著 弥谦指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2011
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 69页;28cm
- 个人责任者:
- 袁渊明 著
- 个人次要责任者:
- 弥谦 指导
- 非控制主题词:
- 磁控溅射 磁约束 等离子体 有限元 靶材利用率
- 中图法分类号:
- O532.11
- 学位论文附注:
- 硕士论文--西安工业大学光电学院,2011
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