MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:28
- 题名/责任者:
- 微系统技术/(德)Menz,W., (德)Mohr,J., (德)Paul,O.著 王春海, 于杰译
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2003
- ISBN及定价:
- 7-5025-4692-8/CNY38.00
- 载体形态项:
- 468页:图;21cm
- 并列正题名:
- Microsystem Technology
- 个人责任者:
- Menz,W. 著
- 个人责任者:
- Mohr,J. 著
- 个人责任者:
- Paul,O. 著
- 个人次要责任者:
- 王春海 译
- 个人次要责任者:
- 于杰 译
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 一般附注:
- 并列题名:Microsystem Technology
- 版本附注:
- 据WILEY-VCH 2001年版译出。
- 出版发行附注:
- 本书中文简体翻译版由WILEY出版公司授权化学工业出版社独家出版发行。
- 书目附注:
- 有书目 (第446-467页)。
- 提要文摘附注:
- 本书讲述微系统技术领域内的相关内容。全书分为十章,前四章介绍微系统技术的基础知识;后六章详细介绍微系统技术的基本工艺方法。
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