MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：24
- 题名/责任者:
- 新型等离子体源的研究/古克义著 弥谦指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2009
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 60页;28cm
- 个人责任者:
- 古克义 著
- 个人次要责任者:
- 弥谦 指导
- 非控制主题词:
- 离子束辅助沉积 等离子体辅助沉积 离子源 宽束冷阴极离子源
- 中图法分类号:
- O484
- 学位论文附注:
- 硕士论文——西安工业大学光电学院，2009
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