MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:36
- 题名/责任者:
- 半导体器件工艺/电子工业半导体专业工人技术教材编写组编
- 出版发行项:
- 上海:上海科学技术文献出版社,1984
- ISBN及定价:
- /¥1.84
- 载体形态项:
- 658页;19cm
- 团体责任者:
- 电子工业半导体专业工人技术教材编写组 编
- 学科主题:
- 半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN305
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