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Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

微电子材料与制程/陈力俊主编

出版发行项:

上海:复旦大学出版社,2005

ISBN及定价:

7-309-04363-4/CNY68.00

载体形态项:

11,613页:图;23cm

并列正题名:

Microelectronics Materials and Processing

个人责任者:

陈力俊 主编

学科主题:

微电子技术

中图法分类号:

TN4

提要文摘附注:

本书内容包括半导体基本理论、硅晶圆制造、硅晶薄膜、刻蚀技术、光刻技术、离子注入、金属薄膜、氧化介电层、电子封装及材料分析等，从理论基础到制造、分析等实务经验，皆有完整而透彻的介绍。

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