MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：24
- 题名/责任者:
- 基于ANSYS的（非）平衡测控溅射镀膜机磁场模拟[硕士论文]/崔著双著 杭凌侠 教授指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2006
- ISBN及定价:
- /CNY缴送
- 载体形态项:
- 79页;30cm
- 个人责任者:
- 崔著双 著
- 个人次要责任者:
- 杭凌侠 教授 指导
- 非控制主题词:
- ANSYS 磁控溅射 有限元 磁感应强度 查询
- 中图法分类号:
- O484
- 学位论文附注:
- 光学工程：西安工业大学：2006
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