MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：43
- 题名/责任者:
- 非平衡磁控溅射类金刚石薄膜的研究[硕士论文]/徐均琪著 杭凌侠副教授指导
- ISBN及定价:
- /缴送
- 载体形态项:
- 59页;30cm
- 个人责任者:
- 徐均琪 著
- 个人次要责任者:
- 杭凌侠副教授 指导
- 非控制主题词:
- 非平衡磁控溅射 类金刚石 薄膜 离子密度 均匀性
- 中图法分类号:
- TB43
- 学位论文附注:
- 光学工程：西安工业学院：2004
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