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MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：49

题名/责任者:
微细加工技术/刘明等编著
出版发行项:
北京:化学工业出版社,2004
ISBN及定价:
7-5025-6077-7/CNY35.00
载体形态项:
177页:图;26cm
丛编项:
现代加工技术丛书
个人责任者:
刘明 编著
个人责任者:
谢常青 编著
个人责任者:
王舜 编著
学科主题:
特种加工-技术
中图法分类号:
TG66
提要文摘附注:
本书介绍了光学曝光技术,光学分辨率增强技术,电子束光刻技术,X射线光刻技术,极端远紫外光刻技术.
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