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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:25

题名/责任者:
半导体材料(第二版)/杨树人等编著
版本说明:
[2版]
出版发行项:
北京:科学出版社,2004
ISBN及定价:
7-03-012817-6/CNY26.00
载体形态项:
264页;24cm
个人责任者:
杨树人 (半导体) 编著
个人责任者:
王宗昌 编著
个人责任者:
王兢 编著
学科主题:
半导体材料-高等学校-教材
学科主题:
半导体材料
中图法分类号:
TN304
一般附注:
21世纪高等院校教材
提要文摘附注:
本书主要介绍半导体材料硅、砷化镓等制备的基本原理,工艺和特性的控制等,全书包括:硅和锗的化学制备,区熔提纯,晶体生长,硅、锗晶体中的杂质和缺陷,硅外延生长等11章。
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