MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：29
- 题名/责任者:
- 软X射线与极紫外辐射的原理和应用/(美)阿特伍德(Attwood, D.)著 张杰译
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2003
- ISBN及定价:
- 7-03-010813-2/CNY59.00
- 载体形态项:
- 13,458页:照片;24cm
- 个人责任者:
- 阿特伍德 D. 著
- 个人次要责任者:
- 张杰 译
- 学科主题:
- X射线-研究
- 学科主题:
- 紫外辐射-研究
- 学科主题:
- X射线
- 学科主题:
- 紫外辐射
- 中图法分类号:
- O434
- 提要文摘附注:
- 本书主要介绍X射线与级紫外辐射的基本特性，讨论它们在半导体芯片制备等多个领域的广泛应用，并提供大量参考资料进行辅助讲述。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| O434/2 | 553786 |  密集库1
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| O434/2 | 553785 | 内阅图书
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| O434/2 | 553787 | 金花馆
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可借 |
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