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题名/责任者:

微系统技术/(德)Menz,W., (德)Mohr,J., (德)Paul,O.著 王春海, 于杰译

出版发行项:

北京:化学工业出版社,2003

ISBN及定价:

7-5025-4692-8/CNY38.00

载体形态项:

468页:图;21cm

并列正题名:

Microsystem Technology

个人责任者:

Menz,W. 著

个人责任者:

Mohr,J. 著

个人责任者:

Paul,O. 著

个人次要责任者:

王春海 译

个人次要责任者:

于杰 译

学科主题:

微电子技术

中图法分类号:

TN4

一般附注:

并列题名：Microsystem Technology

版本附注:

据WILEY-VCH 2001年版译出。

出版发行附注:

本书中文简体翻译版由WILEY出版公司授权化学工业出版社独家出版发行。

书目附注:

有书目 (第446-467页)。

提要文摘附注:

本书讲述微系统技术领域内的相关内容。全书分为十章，前四章介绍微系统技术的基础知识；后六章详细介绍微系统技术的基本工艺方法。

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