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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:14

题名/责任者:
光学薄膜厚度的光干涉测试方法/苏俊宏著
出版发行项:
北京:科学出版社,2019
ISBN及定价:
978-7-03-062302-7/CNY98.00
载体形态项:
166页:图;24cm
个人责任者:
苏俊宏
学科主题:
光学干涉仪-测试方法
中图法分类号:
TH744.3
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书以光干涉测试技术为原理,以光学薄膜厚度参数为测量对象,介绍几种实现光学薄膜厚度测量的光干涉测试方法,包括干涉条纹法、快速傅里叶变换法、相位偏移干涉法、数字叠栅法,以及错位干涉法、外差干涉法和条纹扫描法。《光学薄膜厚度的光干涉测试方法》是作者研究工作的系统总结,具有理论与实践密切结合、论述系统深入、测试结果来源于工作实际的特点。
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