MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：18
- 题名/责任者:
- 磁控溅射氧化铪基异质结制备及其性能研究/赵吉武著 惠迎雪副教授，刘政研高工指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2022
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 61页;29cm
- 个人责任者:
- 赵吉武 著
- 个人次要责任者:
- 惠迎雪副教授 指导
- 个人次要责任者:
- 刘政研高工 指导
- 非控制主题词:
- 磁控溅射；HfO2基异质结；铁电薄膜；非易失性存储器
- 中图法分类号:
- TB383
- 学位论文附注:
- 专业硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2022
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