MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:28
- 题名/责任者:
- 批间控制理论与设计方法/潘天红,王海燕,谭斐著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2022
- ISBN及定价:
- 978-7-03-071476-3/CNY99.00
- 载体形态项:
- 143页;24cm
- 个人责任者:
- 潘天红 著
- 个人责任者:
- 王海燕 著
- 个人责任者:
- 谭斐 著
- 学科主题:
- 自动控制理论
- 中图法分类号:
- TP13
- 提要文摘附注:
- 本书全面系统地介绍了离散制造过程的批间控制理论及其设计方法,侧重于混合制程批间控制研究的最新进展。全书共7章,分为三大部分,第一部分针对混合制程的控制问题,阐述了批间控制理论与设计方法;第二部分针对带测量时延的半导体晶圆制程的控制问题,给出系统稳定性分析、测量时延概率的估计算法及EWMA滤波器设计方法;第三部分结合贝叶斯理论,研究批间控制性能评估方法,并给出批间控制器协同设计策略。
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
TP13/293 | CN1889795 | ![]() |
阅览 | 内阅图书 | |
TP13/293 | CN1889796 | ![]() |
可借 | 未央馆 |
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