西安工业大学图书馆书目检索系统

Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

微细加工与微纳加工技术及应用/赵波等编著

出版发行项:

北京:化学工业出版社,2021

ISBN及定价:

978-7-122-36940-6/CNY79.00

载体形态项:

214页;26cm

个人责任者:

赵波 编著

学科主题:

特种加工-技术

中图法分类号:

TG66

提要文摘附注:

微细加工与微纳加工技术是当前发展最快的加工技术之一，已广泛应用于机械、微电子、材料、机电、化工、能源、航空航天、通信、生物技术、医疗卫生、军事等领域。本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书介绍了微切削加工技术，微细电加工技术，激光的微纳米加工技术，面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术，纳米机械加工原理、方法与实现；还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。本书内容丰富、语言精练，具有较强的实践指导意义和实用价值。

使用对象附注:

本书可供机电、微电子、新材料、通信、能源、化工等领域的科研人员、技术人员阅读或参考，也可作为相关专业大专师生的教学参考书

豆瓣简介：