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题名/责任者:

数据驱动的半导体制造系统调度/李莉[等]著

出版发行项:

北京:化学工业出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-122-37328-1/CNY68.00

载体形态项:

239页:图;24cm

个人责任者:

李莉 著

个人责任者:

于青云 著

个人责任者:

马玉敏 著

个人责任者:

乔非 著

学科主题:

数据处理-应用-半导体工艺-调度程序

中图法分类号:

TN305

一般附注:

“中国制造2025”出版工程

一般附注:

“十三五”国家重点出版物出版规划项目

题名责任附注:

题名页题其余责任者: 于青云, 马玉敏, 乔非

书目附注:

有书目和索引

提要文摘附注:

本书对复杂的半导体制造系统智能调度问题从理论到方法再到应用, 全方位地进行系统化论述。主要内容包括数据驱动的半导体制造系统调度框架、半导体制造系统数据预处理的方法、半导体生产线性能指标相关性的分析、智能化投料控制策略、一种模拟信息素机制的动态派工规则、基于负载均衡的半导体生产线的动态调度和性能指标驱动的半导体生产线动态调度方法、大数据环境下的半导体制造系统调度发展趋势。

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