MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：28
- 题名/责任者:
- TFS等离子体源辅助电子束蒸发沉积系统仿真与实验/郝思齐著 蔡长龙教授，周立杰高工指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2020
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 60页;29cm
- 个人责任者:
- 郝思齐 著
- 个人次要责任者:
- 蔡长龙 指导
- 个人次要责任者:
- 周立杰 指导
- 非控制主题词:
- 等离子体源；有限元素分析法；加压电压；提取电流；建模仿真
- 中图法分类号:
- O53
- 学位论文附注:
- 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2020
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特种