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题名/责任者:

晶圆制造中的并行机调度/张洁, 张朋著

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2019

ISBN及定价:

978-7-302-53663-5/CNY79.00

载体形态项:

x, 241页:图;24cm

丛编项:

排序与调度丛书

个人责任者:

张洁 著

个人责任者:

张朋 著

学科主题:

半导体工艺-自动化系统-物料输送系统-并行控制-研究

中图法分类号:

TN305

一般附注:

“十三五”国家重点图书出版规划项目

责任者附注:

张洁, 女, 东华大学机械工程学院院长、教授、博士生导师。中国科协智能制造学会联合体专家委员会委员、中国人工智能学会智能制造专业委员会副主任等。张朋, 男, 东华大学机械工程学院智能制造研究所讲师。2011年于华中科技大学获学土学位, 2019年于上海交通大学获得博士学位。

书目附注:

有书目 (第227-233页) 和索引

提要文摘附注:

本书在介绍晶圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上, 分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了晶圆制造中的并行机调度性能评价方法, 以及原型系统的开发和应用。

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