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题名/责任者:

微机电系统/苑伟政, 乔大勇编著

出版发行项:

西安:西北工业大学出版社,2011

ISBN及定价:

978-7-5612-3030-5/CNY28.00

载体形态项:

207页:图;26cm

并列正题名:

Micro electromechanical systems

个人责任者:

苑伟政 编著

个人责任者:

乔大勇 编著

学科主题:

微电子技术-高等学校-教材

中图法分类号:

TN4

一般附注:

普通高等教育“十一五”国家级规划教材

一般附注:

高等学校教材

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书共分为六章，分别介绍MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面，本书结合大量工艺实例，易于学生理解等。

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