MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:60

- 题名/责任者:
- 微机电系统/苑伟政, 乔大勇编著
- 出版发行项:
- 西安:西北工业大学出版社,2011
- ISBN及定价:
- 978-7-5612-3030-5/CNY28.00
- 载体形态项:
- 207页:图;26cm
- 个人责任者:
- 苑伟政 编著
- 个人责任者:
- 乔大勇 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TN4
- 一般附注:
- 普通高等教育“十一五”国家级规划教材
- 一般附注:
- 高等学校教材
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书共分为六章,分别介绍MEMS发展历程,MEMS理论基础,MEMS基本工艺技术,MEMS设计技术,典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面,本书结合大量工艺实例,易于学生理解等。
- 豆瓣简介:
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