MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：32
- 题名/责任者:
- 硫化锌光学元件射频离子束刻蚀技术研究/席燕飞著 周顺，肖相国指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2019
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 62页;29cm
- 个人责任者:
- 席燕飞 著
- 个人次要责任者:
- 周顺 指导
- 个人次要责任者:
- 肖相国 指导
- 非控制主题词:
- 硫化锌；离子束刻蚀抛光；XPS；XRD；离子束沉积修正
- 中图法分类号:
- TH74
- 学位论文附注:
- 工程硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2019
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