MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：25
- 题名/责任者:
- 面向特征建模方式的微器件工艺方法研究/迟茗文著 刘铮指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2017
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 70页;29cm
- 个人责任者:
- 迟茗文 著
- 个人次要责任者:
- 刘铮 指导
- 非控制主题词:
- 表面微加工；MEMS；掩模推导；几何元素推理
- 中图法分类号:
- TP391.7
- 学位论文附注:
- 硕士学位论文——西安工业大学机电工程学院，2017
全部MARC细节信息>>
MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：25
特种