MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：38
- 题名/责任者:
- 基于阵列刻蚀的微通道板制备技术研究/范琳琳著 韩军指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2015
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 54页;29cm
- 个人责任者:
- 范琳琳 著
- 个人次要责任者:
- 韩军 指导
- 非控制主题词:
- 微通道阵列；光刻；湿法腐蚀；剥离；低温反应离子刻蚀
- 中图法分类号:
- TB756
- 学位论文附注:
- 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2015
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