MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：34
- 题名/责任者:
- 射频等离子体抛光装置及工艺研究/郝飞霞著 惠迎雪，贺爱锋指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2014
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 52页;29cm
- 个人责任者:
- 郝飞霞 著
- 个人次要责任者:
- 惠迎雪 指导
- 个人次要责任者:
- 贺爱锋 指导
- 非控制主题词:
- 等离子抛光；浪缪尔探针；表面粗糙度；去除速率
- 中图法分类号:
- TH16
- 学位论文附注:
- 工程硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2014
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