MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：27
- 题名/责任者:
- PECVD制备大角度减反膜/龚勋著 杭凌侠指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2016
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 69页;29cm
- 个人责任者:
- 龚勋 著
- 个人次要责任者:
- 杭凌侠 指导
- 非控制主题词:
- PECVD；大角度；宽带减反膜；低折射率
- 中图法分类号:
- O484
- 学位论文附注:
- 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2016
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