MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：36
- 题名/责任者:
- 光学元件表面真空等离子体处理与工艺研究/姜桐著 刘卫国，赵楠指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2016
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 65页;29cm
- 个人责任者:
- 姜桐 著
- 个人次要责任者:
- 刘卫国 指导
- 个人次要责任者:
- 赵楠 指导
- 非控制主题词:
- 电感耦合；电容耦合；朗缪尔探针；刻蚀速率；表面粗糙度
- 中图法分类号:
- O539
- 学位论文附注:
- 工程硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2016
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