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题名/责任者:

微光机电系统:MOEMS/张文栋, 熊继军编著

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2006

ISBN及定价:

7-111-19266-4/CNY28.00

载体形态项:

310页:图;24cm

丛编项:

光机电一体化技术丛书

个人责任者:

张文栋, 1962-

个人责任者:

熊继军 编著

学科主题:

微光技术-应用-机电系统

中图法分类号:

TH-39

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况，微器件地结构设计与仿真，常用地微制造技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。

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