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题名/责任者:

脉冲激光沉积类金刚石膜技术/程勇等编著

出版发行项:

北京:科学出版社,2017

ISBN及定价:

978-7-03-051551-3 精装/CNY168.00

载体形态项:

x, 422页:图;25cm

并列正题名:

Technology of diamond-like carbon films prepared by pulsed laser deposition

个人责任者:

程勇 编著

学科主题:

脉冲(力学)-激光淀积-应用-类金刚石膜-研究

中图法分类号:

TB43

书目附注:

有书目 (第417-422页)

提要文摘附注:

全书共7章内容。从介绍类金刚石膜性质、组成、制备及应用入手, 阐述了脉冲激光沉积技术及其在制备类金刚石膜方面的机理和优、缺点, 以及类金刚石膜的测试与表征 ; 详细讨论了激光参数、基底状态、靶材种类以及环境气氛等因素对类金刚石膜性能的影响, 偏重于阐述掺杂、退火、膜层结构及双激光技术等类金刚石膜降低内应力、提高膜层性能的改性技术 ; 针对类金刚石膜的工程应用中存在的大面积不均匀、制备效率低的现实问题, 展现了多功能激光沉积系统, 阐述了脉冲激光沉积大尺寸均匀平面和球面类金刚石膜的装置、模型及实验 ; 最后介绍了脉冲激光沉积技术在制备其他功能薄膜方面的应用, 展望了该技术未来发展趋势和前景。

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