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题名/责任者:

惯性MEMS器件原理与实践/(德) 沃克尔·肯普著 张新国等译

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2016

ISBN及定价:

978-7-118-10887-3/CNY128.00

载体形态项:

12, 410页;24cm

并列正题名:

Inertial MEMS principles and practice

个人责任者:

肯普 (Kempe, Volker) 著

个人次要责任者:

张新国 译

学科主题:

微电子技术-传感器

中图法分类号:

TP212

一般附注:

装备科技译著出版基金

出版发行附注:

由Cambridge University Press授权国防工业出版社

责任者附注:

沃克尔·肯普 (Volker Kempe)，领导奥地利Mikro SYSTEMS公司微电子工程部10余年。

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书共分9个章节。其中6个章节(包括引言)用于讲述MEMS相关技术的理论基础。第一章讲述了惯性MEMS中最重要的传感器-加速度计和陀螺仪的相关背景知识；第二章讲述了诸如弹性力和阻尼力等非惯性力的理论知识，这些在设计惯性MEMS传感器时非常重要；第三、四章描述了主要MEMS工艺的制作技术；第五章讲述MEMS封装技术；第六章讲述MEMS接口电路技术。前六章内容不仅适合惯性MEMS行业的技术人员，而且对其他想对MEMS有总体了解的人员也有很大的吸引力。第七、八章为核心内容，讲述惯性MEMS传感器-加速度计和陀螺仪。这里重点讲述基本理论、动态特性分析及数学模型建立的方法，并系统讲述了惯性MEMS传感器的不同设计方法和结构方案，以及各自的优缺点。最后，对测试和校准用独立的章节进行了简要介绍。

使用对象附注:

从事惯性MENS器件科研工作者、院校师生及相关读者。

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