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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:45

题名/责任者:
薄膜技术与应用/冯丽萍, 刘正堂编著
出版发行项:
西安:西北工业大学出版社,2016
ISBN及定价:
978-7-5612-4739-6/CNY39.00
载体形态项:
222页:图;26cm
丛编项:
西北工业大学研究生高水平课程体系建设丛书
个人责任者:
冯丽萍 编著
个人责任者:
刘正堂 编著
学科主题:
薄膜技术-研究生-教材
中图法分类号:
TB43
书目附注:
有书目(第217-222页)
提要文摘附注:
本书内容包括:真空技术基础;真空蒸发镀膜;分子束外延生长;溅射镀膜;激光脉冲沉积;离子镀和离子束沉积;化学气相沉积;溶液镀膜法等。
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