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题名/责任者:

晶圆制造自动化物料运输系统调度/张洁, 秦威, 吴立辉著

出版发行项:

武汉:华中科技大学出版社,2015

ISBN及定价:

978-7-5680-0902-7/CNY88.00

载体形态项:

263页:图;24cm

丛编项:

先进生产规划与调度理论研究丛书

个人责任者:

张洁 著

个人责任者:

秦威 著

个人责任者:

吴立辉 著

学科主题:

半导体工艺-自动化系统-物料输送系统-研究

中图法分类号:

TN305

一般附注:

国家科学技术学术著作出版基金资助 “十二五”国家重点图书出版规划项目

责任者附注:

张洁，女，上海交通大学机械与动力工程学院智能制造与信息工程研究所教授、博士研究生导师，中国机械工程学会生产工程分会生产系统专业委员会常务理事，全国高校制造自动化研究会常务理事。

责任者附注:

秦威，男，上海交通大学讲师、博士研究生导师等职。

责任者附注:

吴立辉，男，河南工业大学副教授，硕士研究生导师。

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书针对AMHS调度问题的大规模、随机性、实时性和多目标特点，在系统、深入地分析AMHS建模方法和运行特性分析方法的基础上，分别介绍了AMHS中的Interbay系统和Intrabay系统的优化调度方法，介绍了AMHS系统的集成调度和AMHS调度性能评价方法。本书提出的方法和技术将为广大企业、科研院所、高等院校进一步深入研究晶圆制造AMHS调度问题提供理论基础，为推动晶圆制造AMHS调度技术发展和企业实际应用提供参考，对提升我国晶圆制造企业的核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义。

使用对象附注:

本书主要面向工业工程和机械工程李明宇的研究者和生产管理人员。本书也可作为机械工程、工业工程、自动化、计算机工程、管理工程等相关专业的研究生和高年级本科生的教材和参考书。

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