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题名/责任者:

射频等离子体物理学/(法) 帕斯卡·夏伯特, (英) 尼古拉斯·布雷斯韦特著 王友年, 徐军, 宋远红译

出版发行项:

北京:科学出版社,2015

ISBN及定价:

978-7-03-045919-0/CNY128.00

载体形态项:

321页:图;24cm

并列正题名:

Physics of radio-frequency plasmas

丛编项:

现代应用物理学丛书

个人责任者:

夏伯特 (Chabert, Pascal), 1969- 著

个人责任者:

布雷斯韦特 (Braithwaite, Nicholas) 著

个人次要责任者:

王友年 译

个人次要责任者:

徐军 译

个人次要责任者:

宋远红 译

学科主题:

射频-等离子体物理学

中图法分类号:

O53

出版发行附注:

本书限中国大陆发行

相关题名附注:

书名原文取自版权页

书目附注:

有书目 (第313-321页)

提要文摘附注:

本书针对微电子工业中的材料处理工艺(如半导体芯片加工)，介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性，涉及目前最重要的三种射频等离子体源(单频及多频电容耦合，电感耦合，螺旋波耦合)及其关联性。书中也论述了低温高密度等离子体在微电子器件制备等领域应用的最新进展及相关技术问题。

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