MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：35
- 题名/责任者:
- PECVD制备光学薄膜均匀性控制技术研究/刘昊轩著 杭凌侠指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2014
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 62页;29cm
- 个人责任者:
- 刘昊轩 著
- 个人次要责任者:
- 杭凌侠 指导
- 非控制主题词:
- PECVD；光学薄膜；光学厚度；非均匀性
- 中图法分类号:
- O484
- 学位论文附注:
- 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2014
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