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题名/责任者:

先进光学元件微纳制造与精密检测技术/郭隐彪 ... [等] 编著

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2014

ISBN及定价:

978-7-118-09613-2 精装/CNY108.00

载体形态项:

xix, 320页:图;24cm

并列正题名:

Micro-nano manufacturing and precision measuring technology for advanced optics

个人责任者:

郭隐彪 编著

学科主题:

光学元件-制造

学科主题:

光学元件-精密测试

中图法分类号:

TH74

一般附注:

国防科技图书出版基金

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书以非球面光学元件的制造技术为代表，完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统；重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术；围绕实现确定性抛光，阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术；介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术，加工轨迹规划原理和数据处理方法，以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。

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