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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:42

题名/责任者:
纳米尺度几何量和机械量测量技术/赵学增,王伟杰著
出版发行项:
哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2013
ISBN及定价:
978-7-5603-3864-4/CNY68.00
载体形态项:
284页:图;26cm
丛编项:
先进制造理论研究与工程技术系列
个人责任者:
赵学增
个人责任者:
王伟杰
学科主题:
几何量-测量
中图法分类号:
TB9
一般附注:
国家出版基金资助项目·“十二五”国家重点图书
提要文摘附注:
本书共分4章。包括纳米尺度线宽(CD)测量,纳米尺度边缘粗糙度(LER)测量,纳米尺度线高测量,纳米尺度节距、一维栅和二维栅测量,纳米尺度微力、杨氏模量和刚度测量,微纳尺度固液界面边界条件测量,结论。
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TB9/59 CN1396977  - 内阅图书     阅览
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