MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：24
- 题名/责任者:
- 电弧源制备Ta2O5薄膜的工艺研究/王昆著 弥谦指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2013
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 59页;29cm
- 个人责任者:
- 王昆 著
- 个人次要责任者:
- 弥谦 指导
- 非控制主题词:
- 磁过滤；阴极电弧离子镀；Ta2O5薄膜；热处理；光学特性
- 中图法分类号:
- O484
- 学位论文附注:
- 硕士论文——西安工业大学光电工程学院，2013
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