MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：25
- 题名/责任者:
- 基于MENS技术的无线多功能集成传感器的研制/刘腾著 黄钉劲指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2013
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 57页;29cm
- 个人责任者:
- 刘腾 著
- 个人次要责任者:
- 黄钉劲 指导
- 非控制主题词:
- MEMS；延迟线型；谐振型；温度传感器；气体传感器；敏感薄膜
- 中图法分类号:
- TP212.6
- 学位论文附注:
- 硕士论文——西安工业大学光电工程学院，2013
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