MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：29
- 题名/责任者:
- 磁控溅射法制备ZrO2薄膜的研究/戚云娟著 朱昌指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2012
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 54页;29cm
- 个人责任者:
- 戚云娟 著
- 个人次要责任者:
- 朱昌 指导
- 非控制主题词:
- 磁控溅射；ZrO2薄膜；光学特性；抗激光损伤阈值
- 中图法分类号:
- O484
- 学位论文附注:
- 硕士论文——西安工业大学光电工程学院，2012
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