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题名/责任者:

纳机电基础效应与器件/张文栋等著

出版发行项:

北京:科学出版社,2011

ISBN及定价:

978-7-03-032282-1 精装/CNY80.00

载体形态项:

322, 40页, 40页图版:图 (部分彩图);25cm

丛编项:

纳米科学技术大系

个人责任者:

张文栋 (教授) 著

学科主题:

纳米技术-应用-机电器件-研究

中图法分类号:

TM303

一般附注:

国家科学技术学术著作出版基金资助出版

责任者附注:

张文栋，教授，博士生导师 。现任太原理工大学校长，主要从事动态测试技术，微纳机电系统筹方面的研究与教学工作。

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书系统地论述了纳机电器件的基本概念、尺度效应和耦合问题，纳机电器件基础结构的制造、测试和表征方法，并对纳机电加速度传感器、纳机电声传感器、纳机电谐振器、微流体角速度传感器等典型纳机电器件进行了深入阐释。

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